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連續(xù)鍍膜線

發(fā)布時(shí)間:2020-03-23

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連續(xù)鍍膜線部件以及配置說(shuō)明

◆ Rotating Cylindrical Magnetron Structure旋轉(zhuǎn)圓柱形磁控管結(jié)構(gòu)

連續(xù)鍍膜線


◆ Rotary Cathode application case #1(旋轉(zhuǎn)陰極應(yīng)用案例1)

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◆ Planner Cathode application case (Planner陰極應(yīng)用案例)

     - 批量生產(chǎn)以及研究所生產(chǎn)線上面的多個(gè)陰極

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◆ Ion source case 離子原

卷繞式鍍膜線



◆ PEM  應(yīng)用案例

    - PEM 8要應(yīng)用的通道。要使用的電壓模式和強(qiáng)度模式.

    - Reactive Process(反應(yīng)過(guò)程)穩(wěn)定控制。

    - 對(duì)于PEM 系統(tǒng)多年豐富的經(jīng)驗(yàn)和擁有技術(shù)數(shù)據(jù)。

◆  移動(dòng)系統(tǒng)

? Drive stability with upper guide rollers.  (使用上部導(dǎo)輥的驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定性)

? Prevent trouble with sensor protection housing. (防止傳感器保護(hù)外殼出現(xiàn)故障)

? No slip due to application. (防止滑動(dòng))

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◆ Target Change Method  (Option)靶材更換方法

? Target replacement by lying 180 degrees on the cylinder.通過(guò)再圓柱體上防止180度來(lái)替換目標(biāo)。

? There is no danger because it is electrically tilting因?yàn)樗请妱?dòng)的,沒(méi)有危險(xiǎn)。

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上海羽天實(shí)業(yè)實(shí)業(yè)有限公司生產(chǎn)的連續(xù)鍍膜線

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