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面板干刻mura的產(chǎn)生原因及解決方法

發(fā)布時間:2020-05-28

瀏覽次數(shù):537

磁控濺射卷繞式鍍膜機-在生產(chǎn)面板的過程中,在終端檢測總會存在這樣那樣的mura,今天OLEDindustry帶領大家了解一種mura——干刻mura。

不良描述

在IDE及CHDE后用MMO檢查或后端VT檢可見有直徑2mm,間距為5mm*5mm的白點即為干刻mura。

不良現(xiàn)象:

微信圖片_20200528160621.jpg   

                2下部電極

電極結構:

磁控濺射卷繞式鍍膜機

因電極結構原因,有無Emboss的刻蝕差是一定會有的。

磁控濺射卷繞式鍍膜機

磁控濺射卷繞式鍍膜機

得到KMAC數(shù)據(jù)后對數(shù)據(jù)進行了分析:

磁控濺射卷繞式鍍膜機

通過以上數(shù)據(jù)可看出,在點狀mura處的基底材料殘留量相對于其他位置而言較少,相差約為150A左右;其分布較為規(guī)律,與DE下部電極上的emboss相對應,有EMBOSS的地方刻蝕量大。

同一張大玻璃上,對目測未發(fā)現(xiàn)點狀mura的位置進行了KMAC測量,并對所得數(shù)據(jù)進行了分析。

磁控濺射卷繞式鍍膜機

同一張玻璃上,未發(fā)現(xiàn)點狀mura的位置,其基底材料殘留量也不十分均勻,且厚度分布的模式和有mura處有相同之處(薄-厚交替),只是其變化量大大減少,僅有不到50A左右。

結論:

由以上分析可以看出,DE下部電極上的emboss,導致整張玻璃上產(chǎn)生了模式相同的刻蝕不均,但對于電極,表面由于長期附作物沉淀,表面emboss也不再均勻,造成其刻蝕不均嚴重層度不同,較為嚴重處出現(xiàn)了肉眼可見的mura,較輕微處,mura便不可見。

新電極由于表面無沉積物,刻蝕不均的嚴重度輕微,mura便不可見。

磁控濺射卷繞式鍍膜機

新電極表面清潔,emboss均勻

磁控濺射卷繞式鍍膜機

舊電極表面由于長期附作物沉淀,emboss均勻度也受到影響

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